67
www.renishaw.com
40µm system
20µm system
Speed
Maximum speed (m/s)
Lowest recommended
counter input frequency
(MHz)
0004
(5 µm)
0020
(1 µm)
0040
(0.5 µm)
0100
(0.2 µm)
0200
(0.1 µm)
0400
(50 nm)
1000
(20 nm)
2000
(10 nm)
4000
(5 nm)
10KD
(2 nm)
20KD
(1 nm)
10 10 10 6.48 3.24 1.62 0.648 0.324 0.162 0.0654 0.032 50
10 10 10 5.4 2.7 1.35 0.54 0.27 0.135 0.054 0.027 40
10 10 8.1 3.24 1.62 0.81 0.324 0.162 0.081 0.032 0.016 25
10 10 6.75 2.7 1.35 0.675 0.27 0.135 0.068 0.027 0.013 20
10 9 4.5 1.8 0.9 0.45 0.18 0.09 0.045 0.018 0.009 12
10 8.1 4.05 1.62 0.81 0.405 0.162 0.081 0.041 0.016 0.0081 10
10 6.48 3.24 1.29 0.648 0.324 0.13 0.065 0.032 0.013 0.0065 8
10 4.5 2.25 0.9 0.45 0.225 0.09 0.045 0.023 0.009 0.0045 6
10 3.37 1.68 0.67 0.338 0.169 0.068 0.034 0.017 0.0068 0.0034 4
4.2 0.84 0.42 0.16 0.084 0.042 0.017 0.008 0.004 0.0017 0.0008 1
Maximum speed (m/s)
Lowest recommended
counter input frequency
(MHz)
0004
(10 µm)
0020
(2 µm)
0040
(1 µm)
0100
(0.4 µm)
0200
(0.2 µm)
0400
(0.1 µm)
1000
(40 nm)
2000
(20 nm)
4000
(10 nm)
10KD
(4 nm)
20KD
(2 nm)
20 20 20 12.96 6.48 3.25 1.296 0.648 0.324 0.013 0.064 50
20 20 20 10.8 5.4 2.7 1.08 0.54 0.27 0.108 0.054 40
20 20 16.2 6.48 3.24 1.62 0.648 0.324 0.162 0.064 0.032 25
20 20 13.5 5.4 2.7 1.34 0.54 0.27 0.136 0.054 0.026 20
20 18 9 3.6 1.8 0.9 0.36 0.18 0.09 0.036 0.018 12
20 16.2 8 3.24 1.62 0.8 0.324 0.162 0.082 0.032 0.0162 10
20 12.96 6.48 2.58 1.296 0.648 0.26 0.13 0.064 0.026 0.013 8
20 9 4.5 1.8 0.9 0.45 0.18 0.09 0.046 0.018 0.009 6
20 6.74 3.36 1.34 0.676 0.338 0.136 0.068 0.034 0.0136 0.0068 4
8.4 1.68 0.84 0.32 0.168 0.084 0.034 0.016 0.008 0.0034 0.0016 1